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    石英材料:0716-8304668/0716-8333088
    
  
    
    石英纖維 銷售電話 : 18071880998
    
  
    
  
    

    




  
  
  
 

    
	

    

    
	

    

  
  
 
  


  
  
    
    
    
      
    
          
    
          
    石英晶圓
    
        
    
        
    
          
        
    

    

    
材料簡(jiǎn)介

    

    

    
Introduction

    

    

    

    
使用高品質(zhì)原材料生產(chǎn)的高精度、大尺寸、厚度為0.5mm的石英玻璃晶圓片，可根據(jù)客戶要求定制。 

    使用高品質(zhì)的合成石英玻璃，最大尺寸可達(dá)φ300mm，最薄為0.5mm。高精度的平面度和表面粗糙度。

    

    

    

    

    
主要用途

    

    

    
Main Application

    

    

    

    
半導(dǎo)體制成、生物技術(shù)、MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）、HTPS（高溫多晶硅TFT液晶）。

    

    

    

    

    
規(guī)格參數(shù)

    

    

    
Corresponding Specifications

    

    

    

    

    

    

    

    
厚度

    

    

    

    

    
尺寸公差
    （ mm ）

    

    

    

    

    
平面度（PV）（通光面）

    

    

    

    

    
TTV

    

    

    

    

    
表面粗糙度（Ra）

    

    

    

    

    
劃痕

    

    

    

    

    
凹坑

    

    

    

    

    
崩邊
    （ μ m ）

    

    

    

    

    

    

    
≥0.5 mm

    

    

    

    

    
直徑 ± 0.1 
     厚度 ± 0.02 mm

    

    

    

    

    
≤ λ （ λ = 632.8mm ）

    

    

    

    

    
≤ 1 μm （ φ 200 mm ）

    

    

    

    

    
≤ 0.01 μm

    

    

    

    

    
寬度 ≤ 10 μm

    

    

    

    

    
直徑 ≤ 25 μm

    

    

    

    

    
≤ 300 μm （楞邊）
     ≤ 200 μm （表面）

    

    

    

    

    

    

    
詳細(xì)規(guī)格請(qǐng)致電詳談（尺寸φ300mm以內(nèi)）

    

    

    

    

    

    

    
TTV（3D圖）

    

    

    
TTV

    

    晶圓TTV 3D圖.jpg

    

    

    
TTV（曲線圖）

    

    

    
TTV Curve

    

    晶圓TTV 曲線圖 拷貝.jpg

    

    

    

    

    
樣品測(cè)量值

    

    

    
Sample Measurement

    

    

    

    

    

    

    
φ300 mm

    

    

    

    

    
平面度（PV）（通光面）
    ≤ λ （ λ = 632.8mm ）    

    

    

    

    

    
表面粗糙度（Ra）≤ 0.01 μm 

    

    

    

    

    

    

    
產(chǎn)品詳情咨詢：18272229653

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    
          
        
    
              
      
    
    
    
  
    
  
  
 
 

    
    
    
        
    
            
            
    
                

                
    地址：湖北省荊州市東方大道68號(hào)
    
                
    郵編：434000
    
                
    電話：86-0716-8304668，8333088
    
                
    傳真：86-0716-8310688
    
                
    郵箱：info@feilihua.com
    
                
            
    
        
    
        
    
		  
               
			   
    
                關(guān)注菲利華企業(yè)微信 
				
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