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    無氯合成石英
    FNCL

    材料簡介

    Introduction

    1 無氯 寬圖1 拷貝 - 502-402.jpg

    FNCL合成石英采用有機硅的環保工藝制造產品
    不含氯無氣泡具有超高純度
    是目前半導體應用中最清潔的材料之一,
    其優異的透過率耐輻照性能成為紫外波段應用的理想材料。


    Made by organic silicon with environmental protection process, FNCL synthetic quartz material is one of the cleanest material in semiconductor applications due to its characteristics of chorine free, no bubble and high purity. It is the ideal material for ultraviolet applications for its excellent transmittance and radiation resistance.

    透過率

    Transmittance spectral curve

    曲線1  - 500 拷貝.jpg

    外部透過率

    曲線2  - 500 拷貝.jpg

    輻照后透過率變化


    性能指標

    Critical indicators

    關鍵指標

    金屬雜質含量

    氯含量

    羥基含量

    溫升

    激光損傷閾值(體損傷,355nm)

    量熱法弱吸收

    <0.1 ppm

    < 1 ppm

    800-1000 ppm

    3℃ (8000W , 1200Hz , 150s)

    16.033 J/cm2

    0.3%-0.5% ( 193nm )

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