石英材料:0716-8304668/0716-8333088
石英纖維 銷售電話 : 18071880998
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材料簡介
Introduction
電熔石英材料，具有羥基含量低、純度高、耐高溫性能強等特性。
廣泛應用于半導體行業作為擴散爐及CVD爐元件的材料。
Main application: Electric fused quartz materia has characteristios such as low OH content, high purity, and strong high-temperature resistance. It is widely used as quartz parts for diffusion process and CVD furnace in semiconductor industry.
電熔石英錠
電熔石英管
電熔石英棒
雜質含量
Chemical purity
FLH620L 雜質元素典型值 (ppm)
Al
13
B
＜0.01
Ca
0.6
Zr
1
Cu
＜0.01
Fe
0.5
K
0.4
Li
0.4
Mg
＜0.05
Mn
＜0.05
Na
0.6
Ni
＜0.05
Ti
1.30
OH
＜30
FLH621 雜質元素典型值 (ppm)
Al
14
B
0.1
Ca
0.6
Zr
—
Cu
0.05
Fe
0.35
K
0.5
Li
0.5
Mg
0.05
Mn
0.05
Na
0.06
Ni
0.05
Ti
1.5
OH
≤15
FLH621H 雜質元素典型值 (ppm)
Al
8.00
B
0.04
Ca
0.6
Zr
—
Cu
＜0.01
Fe
0.15
K
0.15
Li
0.15
Mg
＜0.05
Mn
＜0.05
Na
0.12
Ni
＜0.05
Ti
1.40
OH
≤15
物理性能
Physical Property
力學性能
密度（g/cm3）
楊氏模量（GPa）
泊松比
抗彎強度（MPa）
抗壓強度（MPa）
抗拉強度（MPa）
抗扭強度（MPa）
莫氏硬度
2.2
75
0.17
65-95
1100
50
30
6-7
電學性能
介電常數
介電損耗
電阻率（Ω.cm）
3.74
0.0001
1×1016
熱學性能
應變點（η=1014.5 ℃）
退火點（η=1013 ℃）
軟化點（η=107.8 ℃）
熱導率(W/m·k)(20℃)
比熱 (J/kg.k) (20℃)
熱膨脹系數( x10 -7 /k)
α ： 20℃ ~ 320 ℃
1150
1215
1710
1.38
749
5.2-5.8
注：在沒有另外說明的情況下，所有值均指在25 ℃以下。 Other sizes available upon requests.
光學性能
Optical properties
紅外透過率曲線。 Infrared Transmittance Curve.
紫外透過率曲線。 Ultraviolet Transmittance Curve.
菲利華電熔石英材料
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